半导体芯片的生产和制造过程不仅是高精密制造,也是高度自动化的过程。如何在保证生产效率的情况下,又要确保产品高质量,是半导体工厂必须要考虑的问题。随着国产消费电子的崛起,对高质量生产的要求不断提高,生产过程中的任何瑕疵,都会造成终端销售市场的流失。而近几年国产电动车市场的火热,更是将高质量IC产品的要求推到顶峰,半导体企业的产品要想打入车规级电子市场,就必须要具备高效稳定的过程质量控制以及全流程的可追溯系统。
OB欧宝·体育中国官方网站根据
半导体后道生产过程特点研发的2DMark系统,不仅满足了半导体生产过程中对质量追溯的要求,同时也提高了设备的生产效率,降低了生产过程的物料浪费。
在传统半导体后道生产中,多数采用纸质Map图的方式追溯每批次产品的良品、次品,生产到最后,每个批次都会产生大量的流程卡纸张,不仅仅是标记过程繁琐,同时也造成了大量纸张的浪费。而通过应用2DMark系统,这一切问题都将得到妥善解决。
OB欧宝·体育中国官方网站的2DMark系统,不仅仅针对Map图实现了电子化管理,并创造性地
采用场景化模式,贯穿配置化转换逻辑的思路,实现了生产设备自动化流程的串接,并通过模块化的逻辑管理,实现了对生产过程的防呆防错。
生产过程追溯
该系统具备以下特点:◆针对封装过程的DA、WB等封装设备均可以实现
Map数据自动下载和上传,实现了作业数据的全过程追溯,覆盖了SPI、SMT、DA、FC、WB、Plasma、AOI、Mold、LaserMark、Singulation等工艺。◆实时采集设备报警并关联到具体的Strip坐标,
方便后续针对异常进行追溯。◆采集DA和WB的工艺数据
能关联到具体的坐标,如DA机台的溢胶数据等,并支持包括设备、批次、单条等维护数据的分析。◆适配了
DA多次装片和一次装多片的场景,降低了芯片堆叠生产过程追溯的复杂度。◆
防呆防错卡控,如通过基板码实现防混料、防漏作业,再到与晶圆片号和批次的比对,防止晶圆批次生产的混料。◆在DA作业过程中,
可以关联到WaferMap,从WaferMap坐标查询到StripMap坐标,也可以从StripMap坐标查询到WaferMap坐标。
晶圆和基板的关联追溯
◆针对过程中出现的Map调用异常,也可以进行卡控,并将数据归集到大数据系统,形成针对UnitMap的大数据分析和卡控,针对批次中出现大量次品的坐标位置进行实时分析和卡控,
及时识别作业过程中的异常并停机,减少不良品的产生。
UnitMap分布大数据分析
◆针对无法实现自动Map管理的设备
提供手动编辑和批量编辑的功能,方便离线作业。◆
提供移动端功能,集成Recipe下载、MAP扫描编辑、自动叫修、叫料等功能,方便操作,减少Loading时间。
map移动端操作
在封测工厂中,2DMark系统发挥极其重要的作用,能够有效提升产线生产效率,减轻人员工作量,提高设备利用率,且所有工序均具备防呆防错功能,实现了全流程精准追溯,提升了产品良率。目前,OB欧宝·体育中国官方网站已经和国内头部封测工厂达成合作,接入设备数万台,期待与更多厂商合作共赢,助力国产半导体行业蓬勃发展。